英国Raptor Photonics公司的Eagle XO相机采用CF152(6”)法兰设计,可以与真空室直接连接。相机采用Teledyne e2v公司的背照式CCD芯片,可实现对真空紫外VUV、软X射线的直接探测,探测能量范围覆盖12eV到20keV。提供不同分辨率相机可选,方便用户选择在特殊环境下进行科研和系统的集成。

 

 

主要特性:P35X-ray

  • CF152(6”)法兰设计,可直接与真空室连接
  • 来自Teledyne e2v的背照式CCD芯片
  • 可直接探测能量范围12eV-20keV
  • 制冷温度-80℃,暗电流<0.0005e - /p/s
  • 读出噪声<2.3e -
  • Camera Link接口,易于系统集成和开发
  •  

 

典型应用:

X射线成像、X射线衍射XRD及X射线荧光XRF成像、X射线等离子体成像及诊断、软X射线显微镜、EUV及X射线光谱学、X射线断层扫描、X射线相衬成像、X射线源特性、VUV/EUV/XUV成像和光刻晶体学

 

应用指南:

Appnote - 采用制冷CCD直接探测相机的XUV、软X射线和极紫外(EUV)光谱仪

Appnote -深度制冷CCD相机在文物检测领域的应用 Portable XRDXRF for Cultural Heritage using Deep Cooled CCD Camera

 

>>X-ray衍射(XRD)

X-ray衍射是一种研究物质特性的技术,如大分子、晶体、粉末、 聚合物和纤维。 当X-ray穿过物质时,它们与原子中的电子相互作用,并分散开 来。如果原子是在平面上组织的(即物质是结晶的),并且原子之间 的距离与X-ray的波长大小相同,则会发生构造性和破坏性的干涉, 并形成衍射图案。根据所研究物质的种类,可以使用单色X-ray、粉 红束(窄带)X-ray或白束(宽带)X-ray。

 

X-ray衍射

             

>>EUV紫外光刻

半导体工业使用波长从 365nm 到 248nm 到 193/157nm 的光 源,其特征尺寸小于100nm,但已达到光刻技术的界限。认识到这 一限制,该行业在过去几年中一直在寻找一种潜在的后继技术,以生 产小于100nm的特性。半导体工业研究的下一代光刻技术包括超视 距光刻、X-ray光刻、离子束投影光刻和电子束投影光刻。尽管EUV 光刻技术也有其挑战,但它经常被使用,因为它保留了上述光刻技术 (波长13.5nm)的外观和感觉,以及使用了相同的基本设计工具。 因此,直接探测X-ray相机为光刻系统工作中提供了好的诊断 和监控手段。

 

EUV光刻


 

>>XUV、软X射线及EUV光谱

美国McPherson Instruments公司的251MX平场光谱仪,采用新的120g/mm光栅和EA4710XO-BN相机,可以轻松实现XUV、软X射线及EUV光谱的测量。

 

Eagle XO相机安装在251MX光谱仪上

 

 

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产品彩页

该产品全部数据来源于:https://www.raptorphotonics.com/

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技术参数

Eagle XO法兰安装型X射线相机

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  • 型号
    EA4240XO-BN-CL
  • 芯片类型
    CCD
  • 有效像素
    2048 x 2048
  • 像素尺寸
    13.5μm × 13.5μm
  • 有效面积
    27.6mm × 27.6mm
  • 像元合并
    Programmable, up to 64×64 pixels
  • 满阱
    >80ke- (100Ke- typical)
  • 移位寄存器阱深
    150ke-
  • 非线性
    小于百分之一
  • 读出噪声(RMS)
    <3.5e- @ 75kHz (2.3e-typical) <12e- @ 2MHz (9.0e-typical)
  • binned读出噪声
    16×16 binning: < 5.0e- @75kHz pixel readout rate
  • 峰值量子效率
    > 90
  • 光谱响应范围
    12eV to 20keV
  • 制冷方式
    -80°C with 10°C coolant / -70°C air cooled with 25°C ambient
  • 法兰
    CF152 (6”)
  • 同步方式
    Trigger IN and OUT - TTL compatible
  • 数据输出格式
    16 bit base Camera Link
  • 供电方式
    12V DC ±0.1
  • 总功耗
    <67W (TEC ON, Steady State)
  • 工作温度
    -20°C to +55°C
  • 存储温度
    -40°C to +70°C
  • 外形尺寸
    155.08mm x 140.89mm x 110.00mm
  • 重量
    3.5kg